半導体研磨加工の匠集団！　秩父電子　株式会社　／　秩父エレクトロン　株式会社です｡ TEL0494-22-5955 / 0494-75-3333
半導体　化合物半導体,バックグラインド,研磨　裏面研磨　洗浄,重金属フリー洗浄,重金属フリー洗浄,GaP　ＧａＡｓ　ＧａＮ（窒化ガリウム),ウエハー　ワイドギャップ半導体,フォトマスク　合成石英ガラス,金属膜蒸着　エピ,ＳｉＣ（シリコンカーバイト）について

■ 半導体フォトマスク基盤用ガラス（合成石英硝子）研磨

材質：合成石英ガラス、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、 青板ガラス、白板ガラス
仕様：４、５、６、７、８インチ角及び８、１２インチウエハータイプ
世界最高レベルの品質の提供
・平坦度：０．５μ以下
・欠陥、パーティクルレベル：０．１μ　ゼロ～数個
・面粗さＲａ１．５　オングストローム以下

バージン半導体フォトマスク用ガラス研磨加工及び使用済み硝子再生研磨加工
（バージンの場合弊社にて素材調達可）

ペリクル用ガラス研磨加工
　材質は合成石英硝子、青板ガラス等

合成石英ガラスウエハータイプﾟ研磨加工
・重金属対応済み
・Ｖﾉｯﾁ等各種端面加工

写真：レーザスキャン欠陥検査装置（ＭＡＧＩＣＳ）
レーザスキャンにより０．１μ以下のサイズまで欠陥を検出する装置

■ 化合物半導体ウエハー研磨

材質：ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ等の基板ウエハー、エピ成長ウエハー、パターン付きウエハー
仕様：２、３、４、６インチ定型及び不定形ウエハー
超極薄仕上げ可能（５０μレベルまで）

基板研磨はエピレディレベルの表面品質

不定形、反り等の大きいエピ成長ウエハー研磨可能
パターン付きウエハー裏面研磨
使用済みウエハーの再生研磨

ＧａＰウエハーについては研磨以外の各種処理
・定型化加工
・グルービング加工
・バリ取り加工
要望に応じてラップ、研削、ポリッシュ加工を柔軟に組み合わせ最適の研磨加工の実施

写真：ＧａＡｓウエハー　ポリッシュ研磨ライン

■ ＧａＰウエハー　自動グルービング装置

■ シリコンウエハー裏面研磨加工（バックグラインド）

材質：パターン付きシリコンウエハー
仕様：４、５、６、８及び１２インチウエハー
バンプ付きウエハー可能
超極薄仕上げ可能（５０μ以下）
ＣＭＰ装置によるバックグラインド・ポリッシュ一環加工
１２インチウエハーを５０μ以下の厚みまで研磨可能

面内厚みバラツキは２μ以下

バンプ付きウエハー対応可
Ａｓドープウエハー対応可
GaN　on シリコンウェハー対応可

写真：１２インチ超薄仕上げ研磨ウエハー（４０μ仕上げ）

■ ＭＥＭＳ用ウエハー研磨加工

材質：ＭＥＭＳ用パターン付きウエハー
仕様：４、５、６、及び８インチウエハー

膜厚を制御しながらパターン面研磨及び洗浄

■ ワイドギャップ半導体材料研磨加工

材質：ＳｉＣ（シリコンカーバイト）、ＧａＮ（窒化ガリウム）、サファイア　ウエハー等
仕様：表面粗さは０．０５ｎｍレベル

基板研磨
エピ成長ウエハー研磨
パターン付きウエハー研磨
使用済みウエハー再生研磨
最先端検査装置による品質保証
・Ｃａｎｄｅｌａ　
・ＮＩＤＥＫ　
・ＡＦＭ　
・Ｅｄｇｅ　Ｐｒｏｆｉｌｅｒ

超高硬度半導体材料を世界最高の面粗さに仕上げます。
・ＳＢＩＲ，ＧＢＩＲ　１ミクロン以下

重金属フリー洗浄

写真：表面検査装置（Ｃａｎｄｅｌａ）

■ 金属膜蒸着加工

材質：ＧａＡｓウエハー、シリコンウエハー
サイズ：ＧａＡｓウエハー
　　　　・蒸着膜：Ａｕ、Ｐｔ、Ｔｉ等各種金属膜
　　　　・ 対応サイズは６インチまで

　　　　シリコンウエハー
　　　　・ 蒸着膜：熱酸化膜、ＴＥＯＳ膜、窒化膜等
　　　　・ 対応サイズは１２インチまで

研磨との一貫加工で効率的な処理が可能
お客様のレシピに柔軟に対応

写真：金属膜蒸装置

■ シリコンウエハーエピ成長加工

材質：シリコンウエハー
仕様：４、５インチウエハー

４インチ、５インチエピ成長加工

４インチ、５インチウエハー埋め込み拡散加工

生産キャパ：５万枚／月

写真：エピタキシャル成長装置

■ シリコンモニターダミーウエハー加工

材質：シリコンウエハー
仕様：４、５、６、８、１２インチウエハー

バージンモニターダミーウエハー製造
・ パーティクルは０．３ミクロンで１０個以下
・ 重金属レベルは１０の９乗ａｔｏｍs /ｃｍ２をクリアー

モニターダミーウエハー再生研磨加工
・ 膜除去も行います。
・ 再生回数は平均３回以上

少量から注文も承ります

■ シリコンウエハー 一環加工

材質：パターン付きシリコンウエハー
仕様：４、５、６、８、１２インチウエハー
（バンプ付きウエハー対応可能）

ウエハーテスト及びダイシング／チップ検査を協力会社に委託することにより、裏面研磨加工を加えた一環加工サービスを提供致します。

少量から注文も承ります

■ 秩父電子　全景

〒３６８－０００４
秩父市山田２１７８

ＴＥＬ　０４９４－２２－５９５５
ＦＡＸ　０４９４－２２－５９５９

資 本 金　８,０００万円
従業員数 　１１０人

■ 秩父エレクトロン株式会社　（本社工場）

〒３６８－０１０１
秩父郡小鹿野町下小鹿野１１１１

ＴＥＬ　０４９４－７５－３３３３
ＦＡＸ　０４９４－７５－３３３５

資 本 金　４,６００万円
従業員数 　１３０人

■ 秩父エレクトロン　（みどりが丘工場）

〒３６８－００６７
秩父市みどりが丘

ＴＥＬ　０４９４－６３－１７３３
ＦＡＸ　０４９４－６２－５２７７

弊社は昭和４２年の操業開始以来、顧客第一、人材育成、技術の錬磨を社訓として、一貫して半導体材料加工メーカーとしてお客様に可愛がられて参りました。
インターネット全盛の時代において、最先端の加工技術の提供を企業の責務として、今後とも視野を未来へ、そして世界へと広げて、広く社会に貢献していきたいと思います。
様々なお客様の多用なニーズに高品質かつタイムリーにお応えする
Ｃｕｓｔｏｍｅｒ　Ｏｒｉｅｎｔｅｄ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ　として、お引き立ての程宜しく御願い申し上げます。

秩父電子（株）／秩父エレクトロン（株）
代表取締役　強谷隆彦